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產(chǎn)品簡介：

ENOHK品牌潔凈烘箱（無塵烘箱）-FDC系列采用獨特的內(nèi)外艙分體結(jié)構(gòu)結(jié)合內(nèi)循環(huán)風(fēng)道設(shè)計，通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內(nèi)部進行自凈化過濾，從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫熱風(fēng)烘烤環(huán)境。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用晶圓片的硬烤、軟烤，LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域的預(yù)熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應(yīng)力等工藝。

產(chǎn)品特點：

●內(nèi)膽：采用日制400番2mm厚SUS304#鏡面不銹鋼板材，經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE

●外殼：采用1.5mm厚 SS41#鋼板經(jīng)酸洗磷化等防銹處理后噴塑

●保溫層：采用正廠一級100K級高密度超凈玻璃纖維材料保溫板，厚度80mm

●過濾器：進口耐高溫無邊框超高效過濾器H.E.P.A，》0.1μm顆粒過濾效率99.999%

●壓差計：進口壓差計，監(jiān)控H.E.P.A工作狀態(tài)。

●溫控器：采用日本歐姆龍液晶數(shù)字型PID溫度控制器，控溫精度±0.5% 

●溫度傳感器：日制進口CA感應(yīng)棒±0.5%，精度高，誤差小

●鼓風(fēng)裝置：采用大功率耐高溫長軸減震靜音馬達，大口徑不銹鋼渦輪扇葉，可在高溫環(huán)境下長期穩(wěn)定工作

●電熱發(fā)生器：覆套式無塵化電熱發(fā)生器

●風(fēng)門調(diào)節(jié)：進口伺服電機自動風(fēng)門裝置，自動控制風(fēng)門開關(guān)，確保烘烤前后箱內(nèi)密閉

●把手鉸鏈：采用鋅合金合頁鉸鏈門扣，易開易關(guān)。

●密封膠條：采用改性無氟硅橡膠材質(zhì)，耐高溫，不易老化，密封性極佳

●支撐腳輪：配置4只高承重萬象活動輪，前輪帶剎車，方便移動，同時配置4只水平調(diào)整腳杯

選配組件：

1.程序控溫：可配置程序型溫度控制器，最大實現(xiàn)99段*99組程序控溫。

2.測試孔：可在側(cè)面加裝Φ35mm測試孔

3.電磁鎖：安全門控電磁鎖，確保烘烤過程箱門密閉，內(nèi)部環(huán)境不被破壞。

4.多點溫度記錄：可配置多點溫度記錄儀，打印機或RS485接口，連接打印機或PC設(shè)備，監(jiān)控記錄溫度狀況。

5.三色指示燈：工作狀態(tài)指示燈，待機，運行，故障閃燈光警示。

6.其它非標訂制：可根據(jù)客戶實際需求提供產(chǎn)品訂制
FDC系列無塵潔凈烘箱規(guī)格一覽表：

產(chǎn)品簡介：

ENOHK品牌潔凈烘箱（無塵烘箱）-FDC系列采用獨特的內(nèi)外艙分體結(jié)構(gòu)結(jié)合內(nèi)循環(huán)風(fēng)道設(shè)計，通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內(nèi)部進行自凈化過濾，從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫熱風(fēng)烘烤環(huán)境。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用晶圓片的硬烤、軟烤，LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域的預(yù)熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應(yīng)力等工藝。

產(chǎn)品特點：

●內(nèi)膽：采用日制400番2mm厚SUS304#鏡面不銹鋼板材，經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE

●外殼：采用1.5mm厚 SS41#鋼板經(jīng)酸洗磷化等防銹處理后噴塑

●保溫層：采用正廠一級100K級高密度超凈玻璃纖維材料保溫板，厚度80mm

●過濾器：進口耐高溫無邊框超高效過濾器H.E.P.A，》0.1μm顆粒過濾效率99.999%

●壓差計：進口壓差計，監(jiān)控H.E.P.A工作狀態(tài)。

●溫控器：采用日本歐姆龍液晶數(shù)字型PID溫度控制器，控溫精度±0.5% 

●溫度傳感器：日制進口CA感應(yīng)棒±0.5%，精度高，誤差小

●鼓風(fēng)裝置：采用大功率耐高溫長軸減震靜音馬達，大口徑不銹鋼渦輪扇葉，可在高溫環(huán)境下長期穩(wěn)定工作

●電熱發(fā)生器：覆套式無塵化電熱發(fā)生器

●風(fēng)門調(diào)節(jié)：進口伺服電機自動風(fēng)門裝置，自動控制風(fēng)門開關(guān)，確保烘烤前后箱內(nèi)密閉

●把手鉸鏈：采用鋅合金合頁鉸鏈門扣，易開易關(guān)。

●密封膠條：采用改性無氟硅橡膠材質(zhì)，耐高溫，不易老化，密封性極佳

●支撐腳輪：配置4只高承重萬象活動輪，前輪帶剎車，方便移動，同時配置4只水平調(diào)整腳杯

選配組件：

1.程序控溫：可配置程序型溫度控制器，最大實現(xiàn)99段*99組程序控溫。

2.測試孔：可在側(cè)面加裝Φ35mm測試孔

3.電磁鎖：安全門控電磁鎖，確保烘烤過程箱門密閉，內(nèi)部環(huán)境不被破壞。

4.多點溫度記錄：可配置多點溫度記錄儀，打印機或RS485接口，連接打印機或PC設(shè)備，監(jiān)控記錄溫度狀況。

5.三色指示燈：工作狀態(tài)指示燈，待機，運行，故障閃燈光警示。

6.其它非標訂制：可根據(jù)客戶實際需求提供產(chǎn)品訂制
FDC系列無塵潔凈烘箱規(guī)格一覽表：